11月1日，SEMICON China 2022國(guó)際半導(dǎo)體高峰論壇在上海國(guó)際會(huì)議中心開(kāi)幕。此次論壇由高峰論壇、智能制造論壇等7個(gè)系列論壇組成，?？怂构I(yè)(IKAS)CEO李杰受邀在智能制造論壇發(fā)表了《工業(yè)知識(shí)自動(dòng)化推動(dòng)半導(dǎo)體零缺陷生產(chǎn)ZDP》主題分享。
IKAS面向半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈提供工業(yè)知識(shí)自動(dòng)化產(chǎn)品，并創(chuàng)新性地利用數(shù)字孿生、AR/VR等技術(shù)打造出“工業(yè)元宇宙”平臺(tái)，在重塑半導(dǎo)體制造場(chǎng)景的基礎(chǔ)上實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體制造的改進(jìn)和優(yōu)化、形成全新的制造和服務(wù)體系。李杰指出，這種平臺(tái)化的整合，通過(guò)實(shí)現(xiàn)對(duì)fab資產(chǎn)的互聯(lián)和上層系統(tǒng)開(kāi)發(fā)部署，打造出虛擬和現(xiàn)實(shí)聯(lián)通的真正孿生工廠，從根本上擺脫傳統(tǒng)虛擬智能映射現(xiàn)實(shí)的瓶頸。
關(guān)于工業(yè)知識(shí)自動(dòng)化所帶來(lái)的收益，李杰表示，通過(guò)IKAS工業(yè)元宇宙平臺(tái)的虛實(shí)結(jié)合，從工藝研發(fā)、生產(chǎn)優(yōu)化、設(shè)備運(yùn)維、產(chǎn)品測(cè)試和技術(shù)培訓(xùn)等多層面綜合賦能，全方面助力芯片零缺陷生產(chǎn)。
IKAS工業(yè)元宇宙平臺(tái)包括數(shù)字孿生、AR/VR生產(chǎn)培訓(xùn)、智能設(shè)備調(diào)度與控制、智能設(shè)備監(jiān)控及維護(hù)預(yù)警、智能工藝優(yōu)化等核心產(chǎn)品。
其中，數(shù)字孿生承載著工業(yè)知識(shí)自動(dòng)化系統(tǒng)，整合了采集、聚合、洞見(jiàn)、優(yōu)化四大功能，并根據(jù)物理實(shí)體和流程建立準(zhǔn)實(shí)時(shí)數(shù)字化模型，幫助識(shí)別不同層面偏離理想狀態(tài)的異常情況。
IKAS AR/VR是另一大創(chuàng)新型增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)產(chǎn)品，利用高性能計(jì)算平臺(tái)加速半導(dǎo)體制造領(lǐng)域模擬與建模的實(shí)際應(yīng)用，創(chuàng)建實(shí)時(shí)基于物理信息的交互式數(shù)字孿生原型，以實(shí)現(xiàn)可視化與交互式探索。
隨著各領(lǐng)域?qū)π酒悸实囊笾饾u升高，制造廠商開(kāi)始致力于實(shí)現(xiàn)零缺陷生產(chǎn)，而實(shí)現(xiàn)零缺陷生產(chǎn)需要完整的制造體系。生產(chǎn)軟件系統(tǒng)作為解決方案之一，對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)體系發(fā)展有重大戰(zhàn)略意義。
關(guān)于半導(dǎo)體廠商如何應(yīng)對(duì)芯片ZDP零缺陷生產(chǎn)挑戰(zhàn)，李杰介紹到，做到以下三大方面準(zhǔn)備是有必要的，即樹(shù)立規(guī)范生產(chǎn)理念，通過(guò)內(nèi)外部培訓(xùn)建立芯片生產(chǎn)理念，從高管到基層員工人人形成零缺陷生產(chǎn)意識(shí)，嚴(yán)格執(zhí)行規(guī)范;建立高標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)營(yíng)要求，包括更嚴(yán)格的運(yùn)營(yíng)規(guī)定，如嚴(yán)格的無(wú)塵車(chē)間運(yùn)維、清潔等政策，周期性?xún)?nèi)部監(jiān)管、外部客戶(hù)審計(jì);更高資產(chǎn)狀態(tài)要求，如對(duì)工藝、生產(chǎn)設(shè)備有更加嚴(yán)格的要求;更嚴(yán)格的spec，F(xiàn)ab inline Metrology & Defect、Yield、ET等核心KPI都有更嚴(yán)格的卡控標(biāo)準(zhǔn)Spec;更強(qiáng)的監(jiān)測(cè)和量測(cè)，資產(chǎn)監(jiān)控和量測(cè)強(qiáng)化，體現(xiàn)在監(jiān)控和測(cè)試批次頻率、同批次數(shù)據(jù)采集頻率、數(shù)據(jù)采集量等;執(zhí)行嚴(yán)格Lot管理，芯片lot特殊化管理，具有與其他lot不同的生產(chǎn)管理和調(diào)度規(guī)則，如生產(chǎn)和測(cè)試數(shù)據(jù)保存15年。
?？怂构I(yè)憑借其核心的“ROPN底層建模技術(shù)+工業(yè)AI決策算法體系”，結(jié)合對(duì)上述三大方面的深厚理解所研發(fā)出工業(yè)元宇宙平臺(tái)產(chǎn)品，正在為半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈賦能，助力芯片零缺陷生產(chǎn)。接下來(lái)，埃克斯工業(yè)將繼續(xù)致力于通過(guò)工業(yè)知識(shí)自動(dòng)化(智能制造)系統(tǒng)為半導(dǎo)體裝備和產(chǎn)線(xiàn)的強(qiáng)化和升級(jí)賦能。
最后，李杰表示，半導(dǎo)體智能制造技術(shù)和系統(tǒng)的開(kāi)發(fā)和落地，需要終端用戶(hù)、解決方案提供商、研發(fā)機(jī)構(gòu)、學(xué)術(shù)組織等的公共合作，充分利用多方資源，共同促進(jìn)相關(guān)技術(shù)產(chǎn)品的落地、打造適合中國(guó)國(guó)情的半導(dǎo)體制造生態(tài)。
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