中微5納米刻蝕機已獲批量訂單，僅臺積電、三星掌握工藝

去年底公開其“5nm蝕刻機已獲臺積電認可”的中微公司，已經獲得批量訂單。

在中微公司（688012.SH）日前發(fā)布的2019年財報中，相比于108%的凈利潤增速，更值得關注的是其透露：“根據(jù)先進集成電路廠商的需求，已開發(fā)出5nm刻蝕設備用于若干關鍵步驟的加工，并已獲得行業(yè)領先客戶的批量訂單。”

目前，5nm制程是集成電路制造領域最先進的工藝，雖然三星和臺積電均宣稱已掌握該工藝，但現(xiàn)在已量產出貨的僅后者一家，并計劃在二季度放量。

對5nm產能的爭奪異常激烈。觀察者網此前報道，由于海思調降向臺積電的5nm訂單，相關產能已被蘋果“盡數(shù)吃掉”。后者還要求臺積電今年第四季度追加近1萬片產能，與AMD等爭奪5nm產能。

中微公司招股書截圖

除此之外，中微公司還公開稱，其電容性等離子體介質刻蝕設備已應用于64層閃存器件的量產，正在開發(fā)新一代涵蓋128層和更先進關鍵刻蝕應用的刻蝕設備和工藝。

而長江存儲早在2018年已成為中微公司第三大客戶，當時，前者占其營收比重為11%。

值得注意的是，雖然中微公司的刻蝕設備已在國際市場擁有一席之地，但全球半導體設備市場目前仍由國外廠商主導，行業(yè)呈現(xiàn)高度壟斷的競爭格局，2018年前五大廠商占據(jù)的市場份額超過65%。

在2019年業(yè)績說明會上，中微公司董事長尹志堯坦言：對于一些最高端的刻蝕應用，其刻蝕機還有不足的地方，還需進一步技術創(chuàng)新和設備的升級，該公司正在開發(fā)新一代的刻蝕機。

自去年7月登陸科創(chuàng)板以來，中微公司股價漲幅達97%接近翻倍，市值840億元。今日中微公司收跌2.34%，報155.96元/股。

“5nm刻蝕設備獲領先客戶批量訂單”

觀察者網梳理發(fā)現(xiàn)，在集成電路產業(yè)中，設備主要包括晶圓制造設備、封裝設備和測試設備等，其中晶圓制造設備的市場規(guī)模占比超過集成電路設備整體市場規(guī)模的80%。

而晶圓制造設備從類別上講可以分為刻蝕、光刻、薄膜沉積、檢測、涂膠顯影等十多類，其合計投資總額通常占整個晶圓廠投資總額的75%左右，其中刻蝕設備、光刻設備、薄膜沉積設備是集成電路前道生產工藝中最重要的三類設備，三者分別占晶圓制造設備價值量的24%、23%和18%。

中微公司招股書截圖

2019年財報顯示，中微公司等離子體刻蝕設備已用在國內外廠商55nm到5nm的眾多芯片生產線上。

據(jù)中微公司介紹，根據(jù)先進集成電路廠商的需求，其已開發(fā)出5納米刻蝕設備用于若干關鍵步驟的加工，并已獲得行業(yè)領先客戶的批量訂單。其目前正在配合客戶需求，開發(fā)新一代刻蝕設備和包括更先進大馬士革在內的刻蝕工藝，能夠涵蓋5納米以下刻蝕需求和更多不同關鍵應用的設備。

2019年財報截圖

值得注意的是，目前公開稱掌握5nm制程的僅有臺積電和三星兩家。

臺積電5nm工藝目前已量產出貨，第二季度將擴大生產；三星預計今年6月底左右完成5nm產線建設，量產時間要等到今年底或明年初。

圖自富途證券

事實上，早在2018年底，中微公司就曾對外透露，其自主研發(fā)的5nm等離子體刻蝕機經臺積電驗證，性能優(yōu)良，將用于后者的全球首條5nm制程生產線。

值得一提的是，中微公司也是唯一進入臺積電7nm制程蝕刻設備的大陸半導體設備商。根據(jù)公開報道，該公司與臺積電在28nm制程時便已開始合作，并一直延續(xù)到10nm和7nm制程。

中微公司曾在招股書中介紹，由于其開發(fā)出與美國設備公司具有同等質量和相當數(shù)量的等離子體刻蝕設備并實現(xiàn)量產，美國商務部在2015年宣布解除了對中國等離子體刻蝕設備多年的出口管制。

因此，也有部分自媒體借此炒作其董事長為“中國最強牛人”。

該公司此前回應指出，個別媒體虛構部分不實情節(jié)并冠以夸張的標題，該等不實的內容在集成電路業(yè)界產生了較大的負面影響，同時也使其業(yè)務開展及其董事長尹志堯個人受到困擾。

“國產芯片設備進入業(yè)績兌現(xiàn)期”

除了臺積電，據(jù)中微公司招股書介紹，其刻蝕設備客戶還包括中芯國際、海力士、長江存儲、格羅方德、意法半導體、晶方科技等知名廠商。

其中，中芯國際在2016年曾是中微公司第一大客戶，占其營收比重接近40%。不過，次年中芯國際便從第一大客戶滑落為第三大客戶，2018年從前五大客戶中消失。

值得一提的是，招股書中提到，受本土集成電路制造商客戶設備采購計劃的影響，中微公司2017年毛利率較高的刻蝕設備銷量同比出現(xiàn)一定幅度的下降，毛利率也下降4.76個百分點。

與此同時，長江存儲在2018年成為中微公司第三大客戶，占其營收比重為11%。

據(jù)上海金橋經濟技術開發(fā)區(qū)管理委員會官方微信消息，今年1月2日，中微公司中標長江存儲9臺刻蝕設備訂單，2018年-2020年長江存儲對中微收入貢獻分別為2臺、5臺、10臺+，保持翻倍以上的快速增長。

上述消息中提到：“從中微訂單中，可以反應國產設備龍頭企業(yè)伴隨存儲等IC產線產能釋放，正逐步進入業(yè)績快速兌現(xiàn)期。”

2019年財報中介紹，中微公司的電容性等離子體介質刻蝕設備已應用于64層閃存器件的量產，正在開發(fā)新一代涵蓋128層和更先進關鍵刻蝕應用的刻蝕設備和工藝。

招股書中顯示，2017-2018年兩家國內知名存儲芯片廠商采購的刻蝕設備臺數(shù)訂單份額中，中微公司分別占比達15%、17%，其自主研發(fā)的刻蝕設備正逐步打破國際領先企業(yè)在國內市場的壟斷。

在2019年業(yè)績說明會上，尹志堯表示，中微公司產品在國內先進的芯片生產線上已經有相當?shù)氖袌稣加新?。但是在國外、不同地區(qū)的客戶，接受中國國產設備的門檻很高，還需要耐心和時間逐步擴大市場的準入和提高市場占有率。

招股書截圖

除刻蝕設備之外，中微公司財報中介紹，其MOCVD 設備已在全球氮化鎵基LED設備市場中占據(jù)領先地位；用于制造深紫外光LED的MOCVD設備已在行業(yè)領先客戶端驗證成功；用于Mini LED 生產的MOCVD設備的研發(fā)工作正在有序進行中；制造Micro LED、功率器件等需要的MOCVD設備也在開發(fā)中。

與國際巨頭仍有一定差距

IC Insights數(shù)據(jù)顯示，去年國際芯片生產線資本投資下降2%，影響到了半導體設備巨頭的業(yè)績，應用材料、東京電子和泛林半導體2019年度營收跌幅分別為14.18%、11.18%和12.16%。

圖片來源：芯思想研究院

相比之下，中微公司取得了逆勢增長。

2019年年報顯示，其當年營收同比增長18.77%至19.47億元，歸母凈利潤同比增長107.51%達到1.89億元。不過其扣非凈利潤增速僅為41.48%。

尹志堯對此坦言：“在整個市場有下行壓力的情況下，還有這樣的增長，是相當好的業(yè)績?！?/p>

根據(jù)招股書，2016年-2018年，中微公司營收分別為6.1億元、9.7億元、16.4億元，2017年和2018年分別同比增長59%和69%。對比來看，其2019年營收增速也出現(xiàn)了大幅下降。

在營收規(guī)模上，中微公司與行業(yè)巨頭相比仍有不小差距。雖然同比出現(xiàn)下降，但應用材料、東京電子、泛林半導體等國際廠商2019年的營收都在100億美元上下。

除此之外，根據(jù)美國調研機構VLSI Research統(tǒng)計，2018年全球半導體設備系統(tǒng)及服務銷售額為811億美元，其中前五大半導體設備制造廠商，由于起步較早，憑借資金、技術、客戶資源、品牌等方面的優(yōu)勢，占據(jù)了全球半導體設備市場65%的市場份額。

在國際一流公司中，阿斯麥在光刻機設備方面形成寡頭壟斷，應用材料、東京電子和泛林半導體是提供等離子體刻蝕和薄膜沉積等工藝設備的三強，科天半導體是檢測設備的龍頭企業(yè)。

中微公司也在招股書中坦言：“刻蝕設備在銷售規(guī)模上離全球半導體設備巨頭尚有一定差距”、“市場占有率仍然較低?！?/p>

招股書截圖

毛利率方面，中微公司在招股書中介紹，2016年和2018年其刻蝕設備業(yè)務的毛利率基本保持在40%以上，與應用材料、泛林半導體、東京電子三大國際刻蝕設備巨頭大體相當，略高于國內A股可比上市公司北方華創(chuàng)；2017年受營收規(guī)模下降、客戶補償?shù)纫蛩氐挠绊?，毛利率有所下降?/p>

招股書截圖

銷售費用方面，2016年-2019年，中微公司銷售費用率分別為21.71%、16.66%、13.21%和10.12%。

中微公司表示，其銷售費用率高于同行業(yè)可比公司水平，主要由于同行業(yè)可比公司的營收規(guī)模均高于該公司；其銷售市場覆蓋中國臺灣、韓國等海外地區(qū)，境外市場的開拓和維護導致銷售費用較高；2018年其一次性股份支付費用發(fā)生額較高。

資產負債方面，招股書中介紹，2016年末和2017年末，其資產負債率（合并）高于行業(yè)可比上市公司的平均值，主要系前期研發(fā)投入大，累計虧損較大所致。

2018年末，其資產負債率（合并）與行業(yè)可比上市公司的平均值相近。隨著其資本實力的增強，以及業(yè)務規(guī)模的不斷擴大和盈利能力的提升，其資產負債率呈逐年下降，償債能力逐年改善。

招股書截圖

研發(fā)投入方面，2016年-2019年，中微公司研發(fā)投入占營收的比例分別為49.62%、34.00%、24.65%、 21.81%，呈現(xiàn)逐年下降趨勢。

在2019年財報中，中微公司表示，國外領先的半導體設備公司均存在大額研發(fā)投入，根據(jù)2019年年度報告，應用材料研發(fā)投入超20億美元，泛林半導體超10億美元，維易科近1億美元。

該公司表示，2019年其研發(fā)投入4.25億元。雖然占營收比重較高，但總額仍與國外領先的半導體公司有很大差距。如果其未來研發(fā)資金投入不足，不能滿足技術升級需要，可能導致其技術被趕超或替代的風險，對其未來的經營業(yè)績產生不利影響。

2019年財報截圖

觀察網注意到，政府補助占中微公司的凈利潤比例同樣很大。

2017年-2019年其計入當期損益的政府補助金額分別為1.17億元、1.70億元、0.27億元，分別占當期凈利潤比例為390%、189%、14.2%。

另外，今年1月1日至3月13日，其累計收到政府補助1.37億元，占其去年凈利潤的72.5%。

中微公司在招股書中表示，其自成立以來先后承擔了多項國家重大科研項目，如果未來不能持續(xù)獲得政府補助或政府補助顯著降低，將會對其經營業(yè)績產生不利影響。

招股書截圖

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