1月21日消息（南山）近日，英特爾宣布向荷蘭光刻機制造商ASML預訂了一臺仍在設計中的頂級EUV光刻機，為業(yè)界首家。這臺光刻機型號為High-NA量產(chǎn)型EUV光刻機EXE:5200，是業(yè)界最強的光刻機。
據(jù)悉，由于臺積電、三星、英特爾三大巨頭在晶圓制造領域的競爭，導致EUV光刻機需求大增。同時，這款瞄準下一代3nm/2nm級別工藝的High-NA量產(chǎn)型EUV光刻機，堪稱天價。
臺灣媒體消息稱，英特爾預定的這臺光刻機，價格達到3.4億美元，是歷史上最昂貴的光刻機。
前一代設備High-NA研發(fā)型EUV光刻機EXE: 5000，也達到了3億美元一臺。
作為對比，ASML當前商用出貨的高端EUV光刻機報價約為1.5億美元一臺。
2022年，臺積電、三星、英特爾均大幅提升資本開支，其中臺積電資本開支預計達到400億~440億美元。從核心設備光刻機的價格來看，不是沒有原因的。臺積電今年仍大舉采購EUV光刻機，也已經(jīng)下單了High-NA研發(fā)型EUV光刻機EXE: 5000。
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