作為半導(dǎo)體制造中的核心設(shè)備，光刻機(jī)無(wú)疑是芯片產(chǎn)業(yè)皇冠上的明珠，特別是先進(jìn)工藝的光刻機(jī)，7nm以下的都要依賴ASML公司，EUV光刻機(jī)他們還是獨(dú)一份。日前在上海的第三屆進(jìn)出口博覽會(huì)上，ASML全球副總裁、中國(guó)區(qū)總裁沈波在采訪中表示，他們對(duì)進(jìn)博會(huì)開(kāi)放、合作的理念很認(rèn)同，這也是ASML公司長(zhǎng)期以來(lái)支持行業(yè)和客戶發(fā)展的信念。
沈波透漏，ASML與中國(guó)的淵源極深，最早一臺(tái)光刻機(jī)是于1988年進(jìn)入中國(guó)，迄今已經(jīng)32年了。
2000年ASML還在天津正式成立了分公司，目前已在中國(guó)設(shè)有12個(gè)辦公室，11個(gè)倉(cāng)儲(chǔ)物流中心，2處開(kāi)發(fā)中心，1個(gè)培訓(xùn)中心，共擁有1000多名員工。
根據(jù)沈波的消息，這么多年來(lái)他們已經(jīng)為中國(guó)國(guó)內(nèi)地區(qū)的半導(dǎo)體客戶累積提供了700多臺(tái)裝機(jī)。
隨著國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展，國(guó)內(nèi)客戶購(gòu)買的光刻機(jī)等產(chǎn)品也越來(lái)越多，根據(jù)ASML的財(cái)報(bào)，今年Q2、Q3季度中，公司發(fā)往國(guó)內(nèi)地區(qū)的光刻機(jī)占了全球銷量的20%。
在這次進(jìn)博會(huì)上，ASML此次也帶來(lái)了其整體光刻解決方案，包括先進(jìn)控制能力的光刻機(jī)臺(tái)計(jì)算光刻和測(cè)量通過(guò)建模、仿真、分析等技術(shù)，讓邊緣定位精度不斷提高，目前的DUV光刻機(jī)可以制造7nm及以上工藝的半導(dǎo)體芯片。
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