極速交付!格創(chuàng)東智 Stocker 賦能晶圓自動化物料存儲

國內(nèi)頭部半導體存儲器制造商,專業(yè)從事集成電路內(nèi)存芯片的設計、研發(fā)、生產(chǎn)和銷售,目前 12 英寸晶圓廠已建成投產(chǎn)。其在國內(nèi)外擁有多個研發(fā)中心和分支機構(gòu),已推出多款不同類型的內(nèi)存芯片,滿足多種應用需求。

隨著市場行情的回暖和外部需求的增長,公司產(chǎn)能逐漸提升,現(xiàn)有 Stocker 晶圓存儲立庫(以下簡稱 Stocker)的存儲量無法滿足需求,急需擴充 FOUP 的存儲。

同時由于客戶工藝流程復雜、生產(chǎn)過程離散,會使得某些機臺在某一段時間內(nèi),積累的晶圓比較多,如果是依賴人力搬運,難免出現(xiàn)調(diào)度、轉(zhuǎn)運不及時的情況,從而造成瓶頸機臺的擁塞以及部分機臺運行不飽和。

眾所周知,從早期的 6 英寸晶圓廠,到如今的 8 英寸、12 英寸廠成為主流,半導體制造工藝越來越先進,產(chǎn)線中的工序成倍增長,關鍵機臺的吞吐量也在一代代的更迭中迅速增加,傳統(tǒng)人力在產(chǎn)線設備間的物料搬運,成為制約生產(chǎn)效率和生產(chǎn)質(zhì)量的瓶頸。也因此,AMHS 從 8 英寸廠開始顯露頭角,在 12 英寸廠中成為標配。

AMHS 主要由 OHT 空中搬運小車、Stocker 晶圓存儲立庫、MCS/OHTC/STKC 軟件系統(tǒng)等組成。其中 Stocker 作為 AMHS 的重要構(gòu)成,用于潔凈室內(nèi)半導體生產(chǎn)工序及工序之間晶圓載具的存儲,可與上位系統(tǒng)進行通訊,實現(xiàn)帳料自動管理。為客戶生產(chǎn)現(xiàn)場減少物料搬運擁堵情況,降低傳送周期,管理復雜的批次操作,實現(xiàn)物料高效搬運。同時確保機臺排產(chǎn)充足,為工廠實現(xiàn) Fully Auto 提供重要支持。

根據(jù)無塵室可利用空間,格創(chuàng)東智靈活定制各類型 Stocker,實現(xiàn)空間最大化。

Stocker 設備打包完畢、發(fā)往客戶工廠

通過導入格創(chuàng)東智 Stocker,自動化存儲、提取和傳送各種規(guī)格的晶圓料盒,該頭部 12 吋晶圓廠實現(xiàn)了高效自動化物料存儲擴產(chǎn)的需求。

1、自動物料搬運存儲

Stocker 專為潔凈車間設計,與 OHT 等自動化設備的協(xié)同作業(yè)構(gòu)建起高效的自動物料搬運存儲系統(tǒng) AMHS,根據(jù)生產(chǎn)計劃和需求來優(yōu)化物料流動。

2、降低人力 & 提高效率

作為無塵車間內(nèi)的臨時存儲庫,Stocker 可平衡設備及工藝間產(chǎn)能的差異,最大程度縮短晶圓在工藝設備間的流轉(zhuǎn)時間,提高設備利用率;Stocker 控制系統(tǒng)可自動向 MCS 系統(tǒng)更新對應物料的位置信息,實現(xiàn)物料的統(tǒng)一管理,提高工作效率的同時減少人員工作強度。

3、提高產(chǎn)品質(zhì)量

Stocker 內(nèi)部可達到較高的潔凈度,能夠滿足物料存儲對潔凈度的要求,同時庫存和物料流動的實時追蹤有助于快速定位和解決潛在問題,進而提升產(chǎn)品質(zhì)量、實現(xiàn)制造過程的可追溯性。

4、提高空間利用率

Stocker 能夠充分利用潔凈車間的閑置面積及垂直空間,在相同占地面積中提高倉儲容量,從而提高空間利用率。

與常規(guī)交付相比,此次項目的工期非常緊,格創(chuàng)東智臨危受命,緊急協(xié)調(diào)各種資源,組建專業(yè)項目團隊,與客戶緊密溝通,快速實現(xiàn) Stocker 的調(diào)試 / 交付(第一臺 Stocker 從客戶 PO 下發(fā)到現(xiàn)場交付僅僅 15 天,這個效率在業(yè)界是絕無僅有的),非常及時、高效地支撐了客戶產(chǎn)能的提升,并取得了客戶的高度認可。

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