9月28日消息，據(jù)英文媒體報(bào)道，在8月份的全球技術(shù)論壇期間，臺(tái)積電曾透露全球目前在運(yùn)行的極紫外光刻機(jī)中，他們約有一半，產(chǎn)能則是預(yù)計(jì)占全球的60%。
臺(tái)積電是從第二代的7nm工藝開(kāi)始采用極紫外光刻機(jī)的，7nm之后的工藝，就將全部采用極紫外光刻機(jī)，隨著5nm工藝的大規(guī)模投產(chǎn)，6nm工藝、第二代5nm工藝和3nm工藝開(kāi)始籌備量產(chǎn)，他們對(duì)極紫外光刻機(jī)的需求也越來(lái)越大。
而消息人士透露，臺(tái)積電正在加快研發(fā)極紫外光刻工藝，他們預(yù)計(jì)到明年年底，極紫外光刻機(jī)的累計(jì)采購(gòu)量將達(dá)到約55臺(tái)。
阿斯麥?zhǔn)悄壳叭蛭ㄒ荒苤圃鞓O紫外光刻機(jī)的廠商，臺(tái)積電所需要的極紫外光刻機(jī)，也就全部來(lái)自于阿斯麥。
阿斯麥極紫外光刻機(jī)
目前還不清楚臺(tái)積電已經(jīng)向阿斯麥采購(gòu)了多少臺(tái)極紫外光刻機(jī)，但從阿斯麥的年報(bào)來(lái)看，他們從2012年就已開(kāi)始交付極紫外光刻機(jī)，到今年二季度結(jié)束時(shí)，他們已累計(jì)向用戶(hù)交付76臺(tái)極紫外光刻機(jī)，按50%的比例計(jì)算，臺(tái)積電目前擁有的極紫外光刻機(jī)，就是在38臺(tái)左右。
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