6月1日，極客網了解到，南大光電(300346.SZ)發(fā)布公告，控股子公司寧波南大光電材料有限公司(以下簡稱“寧波南大光電”)自主研發(fā)的ArF光刻膠產品繼2020年12月在一家存儲芯片制造企業(yè)的50nm閃存平臺上通過認證后，近日又在邏輯芯片制造企業(yè)55nm技術節(jié)點的產品上取得了認證突破。
南大光電表示，ArF光刻膠材料是集成電路制造領域的重要關鍵材料，可以用于90nm-14nm甚至7nm技術節(jié)點的集成電路制造工藝。廣泛應用于高端芯片制造(如邏輯芯片、存儲芯片、AI芯片、5G芯片和云計算芯片等)。
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