中芯國際14nm芯片火熱量產(chǎn)，高端光刻機缺位7nm研發(fā)進展滯緩

IT之家此前報道，華為麒麟710A正式實現(xiàn)商業(yè)化量產(chǎn)，并由榮耀Play4T搭載預(yù)裝，“麒麟710A”是由中芯國際完成芯片代工制造環(huán)節(jié)，采用14nm制程工藝，主頻2.0GHz，屬于此前麒麟710的降頻版。“麒麟710A”代表著實現(xiàn)國產(chǎn)化零的突破，是中國半導(dǎo)體芯片技術(shù)的破冰之舉。

據(jù)《IT時報》近期報道，中芯國際作為國內(nèi)唯一能夠提供14納米制程的晶圓代工企業(yè)，成為“最強備胎”，目前華為已有產(chǎn)品芯片轉(zhuǎn)由中芯國際代工。實地探訪發(fā)現(xiàn)上海中芯國際的14nm芯片火熱量產(chǎn)，7nm工藝研發(fā)多時，但礙于高端光刻機缺位，研發(fā)進展滯緩。

中芯國際14nm產(chǎn)線員工透露，受限于設(shè)備，中芯國際7~8nm的研發(fā)進展不是很快，做出來的成品沒那么快，也沒那么好，“同樣一道工序，臺積電只要一步就能完成，我們可能需要三四步”。高端光刻機的缺失，是其中最關(guān)鍵的問題，“除了光刻機，別的設(shè)備都能解決。”

今年3月份，中芯國際集成電路制造（深圳）有限公司從荷蘭進口的一臺大型光刻機順利通過出口加工區(qū)場站兩道閘口進入廠區(qū)，這臺機器主要用于企業(yè)復(fù)工復(fù)產(chǎn)后的生產(chǎn)線擴容。但這臺光刻機并非是EUV光刻機。

5月15日，中芯國際今日在港交所公告，中芯控股與國家集成電路基金等多方訂立新合資合同及新增資擴股協(xié)議，國家集成電路基金II及上海集成電路基金II（作為中芯南方的新股東）同意分別注資15億美元及7.5億美元予中芯南方注冊資本，中芯南方注冊資本將由35億美元增加至65億美元。中芯南方已成立及建立龐大產(chǎn)能，并專注14納米及以下工藝和制造技術(shù)。中芯南方已達致每月6,000片14納米晶圓的產(chǎn)能，目標(biāo)是達致每月35,000片14納米及以下晶圓的產(chǎn)能。

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