據(jù)臺媒 DigiTimes 報(bào)道,臺積電加速先進(jìn)制程推進(jìn),近期擴(kuò)大釋單,累計(jì) EUV 機(jī)臺至 2021 年底將超過 50 臺。
報(bào)道指出,相較之下,三星電子(Samsung Electronics)2021 年還不到 25 臺,同時(shí) EUV POD(光罩傳送盒)采購量遠(yuǎn)低于預(yù)期。
IT之家了解到,臺積電 8 月舉行了年度技術(shù)研討會,透露了其在尖端制造實(shí)力方面的情況。臺積電占據(jù)了業(yè)界 EUV(極紫外光)設(shè)備安裝量的 50%。此外,臺積電還擁有約 60% 的 EUV 晶圓累計(jì)產(chǎn)量。
ASML 是唯一一家生產(chǎn)和銷售 EUV 光刻設(shè)備的公司。按照 Cutress 此前估計(jì),臺積電已經(jīng)從 ASML 購買了 30-35 臺設(shè)備。據(jù)此估算,ASML 已售出約 70 臺機(jī)器,到 2020 年底可能會賣到 90 臺。
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