據(jù)臺媒《工商時報》報道,晶圓代工龍頭臺積電在上周的法說會上透露了其3nm制程的更多細節(jié)。
據(jù)悉,3nm采用FinFET架構及EUV技術,3nm相對5nm邏輯密度將大幅增加70%,性能提升10-15%,功耗在同樣性能下將降低25-30%,面積為原來的1/1.7,且EUV光罩層數(shù)將倍增。
此前ASML CEO Peter Wennink在財報會上指出,5nm制程采用的EUV光罩層數(shù)將超過10層,3nm制程采用的EUV光罩層數(shù)會超過20層,隨著制程微縮EUV光罩層數(shù)會明顯增加,并取代深紫外光(DUV)多重曝光制程。
另外,該報道稱臺積電將會積極采購EUV光刻機設備,未來3~5年仍將是擁有全球最大EUV產(chǎn)能的半導體廠。
在先進工藝上,臺積電一直走在業(yè)界前列。該公司EUV技術已進入量產(chǎn)且制程涵蓋7+nm、6nm、5nm。
據(jù)設備廠商消息,臺積電7+nm采用EUV光罩層最多達四層,AMD新一代Zen 3架構處理器預期是采用該制程量產(chǎn)。6nm已在第四季進入量產(chǎn),EUV光罩層數(shù)較7+nm增加一層,包括聯(lián)發(fā)科、英偉達、英特爾等大廠都將采用6nm生產(chǎn)新一代產(chǎn)品。
今年下半年開始量產(chǎn)5nm制程,主要為蘋果量產(chǎn)A14及A14X處理器,包括AMD、高通、英偉達、英特爾、博通等都會在明年之后導入5nm制程量產(chǎn)新一代產(chǎn)品。
此外,3nm產(chǎn)品將會在2021年出現(xiàn)在市場上,2022年開始大批量生產(chǎn)。
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