ASML新一代高NA EUV光刻機樣機將于明年上半年面世

5月23日消息（章葭）據外媒報道，半導體巨頭ASML目前正準備推出一款新的價值4億美元的下一代光刻機，該產品或將在2020年代末成為其旗艦產品。

這款光刻機重量超過200噸，大小如同雙層巴士，將比上一代機型大30%左右，需要三架波音747分段運輸。

ASML總部的高管透露，一個樣機正在按計劃于2023年上半年完成。

該項目的命運對于ASML的客戶也很重要。在全球供應短缺的情況下，芯片制造商競相擴大生產。

行業(yè)專家丹•哈奇森(Dan Hutcheson)表示，這項被稱為“高NA”版本的 EUV 新技術，可能會為一些芯片制造商帶來顯著優(yōu)勢。“這有點像誰有最好的槍,”他說。臺積電在21世紀10年代末首次整合了ASML的EUV光刻機，使其競爭對手黯然失色。

據了解，光刻技術是決定一個芯片上的小型電路的關鍵因素，高NA技術有望降低66%的尺寸。這也意味著芯片制程將進一步升級。在芯片制造中，在同一個空間中安裝的晶體管越多，芯片的速度就越快，能量效率也就越高。

ASML表示，該公司已接到5份試驗機訂單，預計2024年交貨，另有“超過5份”來自5個不同客戶的訂單，要求2025年交貨，以獲得更快的生產模式。

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